Vật liệu cách điện gốm phay 5 trục cho thiết bị bán dẫn và phòng sạch

Trong thế giới sản xuất chất bán dẫn và môi trường phòng sạch đầy rủi ro, mọi thành phần đều phải mang lại hiệu suất hoàn hảo. TạiPFT, chúng tôi chuyên về chế tácBộ cách điện gốm phay 5 trụcđịnh nghĩa lại độ chính xác và độ tin cậy. Với hơn 20+Với nhiều năm kinh nghiệm, các giải pháp của chúng tôi được thiết kế để đáp ứng nhu cầu khắt khe của thiết bị bán dẫn, đảm bảo tính ổn định nhiệt, cách điện và hoạt động không bị nhiễm bẩn trong các điều kiện cực kỳ nhạy cảm.

Tại sao nên chọn sứ cách điện gốm phay 5 trục của chúng tôi?

1.Khả năng sản xuất tiên tiến

Cơ sở của chúng tôi được trang bịmáy phay CNC 5 trục hiện đại, cho phép tạo hình chính xác đến từng micron các vật liệu gốm tiên tiến như nhôm oxit (Al₂O₃), silic cacbua (SiC) và nhôm nitride (AlN). Không giống như các phương pháp thông thường, gia công 5 trục cho phép tạo ra các hình học phức tạp - rất quan trọng đối với các linh kiện như chốt nâng wafer, bộ phận buồng lắng đọng và chất cách điện chống plasma.

Các tính năng chính:

•Độ chính xác:Dung sai ±0,005mm để tích hợp liền mạch vào các công cụ in thạch bản ASML hoặc hệ thống khắc Lam Research.
•Tính linh hoạt của vật liệu:Được tối ưu hóa cho 99,8% nhôm oxit, SiC có độ tinh khiết cao và các loại gốm sứ tiên tiến khác.
•Hoàn thiện bề mặt:Ra <0,2μm để giảm thiểu sự phát sinh hạt trong phòng sạch ISO Class 1.

2.Kỹ thuật quy trình độc quyền

Các kỹ sư của chúng tôi đã phát triểnđiều khiển quy trình vòng kínthích ứng với độ giòn của gốm trong quá trình gia công. Bằng cách kết hợp kỹ thuật phay khô với giảm chấn thời gian thực, chúng tôi đạt được bề mặt không nứt và kéo dài tuổi thọ linh kiện—ngay cả trong điều kiện nhiệt độ cực cao (lên đến 1.600°C).

Tiêu điểm đổi mới:

•Giao thức giảm căng thẳng:Giảm thiểu các vết nứt nhỏ trong chất cách điện AlN cho các ứng dụng CVD.
•Xử lý sau gia công:HIP (Ép nóng đẳng tĩnh) tăng cường mật độ và khả năng chống ăn mòn.

3.Đảm bảo chất lượng nghiêm ngặt

Mỗi chất cách điện đều trải quaKiểm tra 12 giai đoạn, bao gồm:

•CMM (Máy đo tọa độ)xác nhận các kích thước quan trọng.
•Kiểm tra rò rỉ khí Heliđể tương thích với chân không.
•EDS (Phổ tia X phân tán năng lượng)để xác minh độ tinh khiết của vật liệu.

Của chúng tôiHệ thống được chứng nhận ISO 9001/14001đảm bảo khả năng truy xuất nguồn gốc từ khâu mua nguyên liệu thô (lấy từ các nhà cung cấp cấp 1 như CoorsTek) cho đến khâu đóng gói cuối cùng.

Ứng dụng: Nơi độ chính xác kết hợp với hiệu suất

Chất cách điện của chúng tôi được tin cậy ở:

•Dụng cụ khắc và lắng đọng:Các thành phần được phủ SiC để chống lại plasma trong các mô-đun Applied Materials™.
•Máy cấy ion:Chốt nâng bằng nhôm có lớp phủ chống tĩnh điện để ngăn chặn hiện tượng trượt của wafer.
•Hệ thống đo lường:Chất cách điện có độ giãn nở nhiệt thấp dành cho các giai đoạn quang khắc EUV.

Nghiên cứu điển hình:Một OEM bán dẫn hàng đầu đã giảm thời gian ngừng hoạt động của công cụ xuống 40% sau khi chuyển sang vòi sen SiC được thiết kế riêng của chúng tôi, có hiệu suất vượt trội hơn các bộ phận của đối thủ cạnh tranh trong quá trình xử lý wafer 300mm.

Vượt ra ngoài sản xuất: Một cách tiếp cận hợp tác

•Tạo mẫu nhanh:Gửi tệp CAD của bạn và nhận nguyên mẫu chức năng trong vòng 7 ngày.
•Đóng gói phòng sạch tại chỗ:Tùy chọn lắp ráp phòng sạch Class 10 để tích hợp công cụ trực tiếp.
•Hỗ trợ kỹ thuật trọn đời:Các kỹ sư của chúng tôi cung cấp dịch vụ phân tích hao mòn và gia công lại để kéo dài vòng đời linh kiện.